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真空泵系统常用术语及含义
编辑:杭州非耀真空设备有限公司   时间:2016-06-29

真空泵系统常用术语及含义

真空的定义
真空是指低于该地区大气压的稀簿气体状态。
真空度
处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
真空度单位
通常用托(Torr)为单位,国际上取用帕(Pa)作为单位。
1托=1/760大气压=1毫米汞柱
托与帕的转换
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
流量
单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
流导
表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q/(P2- P1)
压强
气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“P”表示。
标准大气压
压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(Atm)。
极限真空
真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,最后一个小时每隔10分钟测量一次,取其10次的平均值为极限真空值。
抽气速率
在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。即Sp=Q/(P-P0)
冷阱(水冷挡板)
置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。
气镇阀
油封机械真空泵的压缩室上开一小孔,并装上调节阀,当打开阀并调节入气量,转子转到某一位置,空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比,从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。
真空冷冻干燥
真空冷冻干燥,也称升华干燥。其原理是将材料冷冻,使其含有的水份变成冰块,然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。
真空蒸镀
在真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。
真空干燥
利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。
真空系统常用术语及性能参数
⑴ 真空泵的极限压强
泵的极限压强单位是Pa,是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的最低压强。
⑵ 真空泵的抽气速率
泵的抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试 验罩,并按规定条件工作时,从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
⑶ 真空泵的抽气量
真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。
⑷ 真空泵的起动压强
真空泵的起动压强单位为Pa,它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。
⑸ 泵的前级压强
真空泵的前级压强 单位是Pa,它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。
⑹ 真空泵的最大前级压强
真空泵口最大前级压强单位是Pa,它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。
⑺ 真空泵的最大工作压强
真空泵的最大工作压强单位是Pa,它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下,泵能连续工作而不恶化或损坏。
⑻ 压缩比
压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
⑼ 何氏系数
泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。
⑽ 抽速系数
泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
⑾ 返流率
泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时,通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
⑿ 水蒸气允许量
水蒸气 的允许量单位是kg/h,它是指泵在正常环境条件下,气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
⒀ 最大允许水蒸气入口压强
最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。

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