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干式真空泵主要应用领域
编辑:杭州非耀真空设备有限公司   时间:2016-09-17

干式真空泵主要应用领域
      1、干式真空泵低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺,半导体刻蚀工艺。
      2、干式真空泵除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
      3、干式真空泵化工、医药、食品中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止有机溶剂污染;
      4、干式真空泵用作一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

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