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干式真空泵主要应用于哪些领域?
编辑:杭州非耀真空设备有限公司   时间:2016-10-09

      无油干式真空泵(又称为干式机械泵)是指泵能够从大气压力下开始抽气,也能够把抽到的气体直接排放到大气中去。泵腔内无油或其他媒体,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

      1、低压化学气相沉积在多晶硅制备过程中,半导体刻蚀工艺。
      2、除半导体工艺的一些粒子技术,不想抽油的混合颗粒,并且颗粒排出泵外,某些类型的干式机械真空泵可以满足要求;
      3,化工,医药,食品在蒸馏、干燥、脱气、包装,以防止有机溶剂的污染;
      4,作为前级泵无油真空系统的清洁,防止油污染。


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