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干式真空泵中出现颗粒的原因
编辑:杭州非耀真空设备有限公司   时间:2016-08-29

干式真空泵中出现颗粒的原因
      在半导体产业为主要应用对象的干式真空泵,会在许多抽气工艺过程中出现一些颗粒物,一般说来,在干式真空泵中出现颗粒物有下列三种情况:
    ①当泵内压力增高时引起气固变相过程的发生;

         ②在泵内产生反应气体的生成物;

         ③抽气过程混入的颗粒物。
  

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