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防止干式真空泵中出现颗粒的措施
编辑:杭州非耀真空设备有限公司   时间:2016-08-29

防止干式真空泵中出现颗粒的措施

      防止干式真空泵中形成的最好措施有:

     ①适当提高泵温。物质的升华、凝固是压力和温度的函数,(且函数关系随物质的不同而不同),所以调整泵的温度可避免气固变相过程的发生。例如:在A1刻蚀过程中,反应生成物为AIC13,蒸气压曲线表明:温度>80℃时,AIC13就挥发为气态,如果能控制泵温,AIC13的沉积就可避免。

     ②降低参加化学反应气体的浓度。单位时间内气体反应生成物(颗粒)的数量可用反应率来表示,而反应率和反应气体浓度成指数关系,所以在生产工艺中充入惰性气体,减少反应气体浓度是降低生成颗粒物的最有效的方法。通常这类泵压缩气体之前就通人惰性气体,避免固体颗粒物的产生。此外,引入惰性气体使反应气体浓度降低到低于着火极限,也可以防止CVD(化学气相沉积)过程中出现爆炸事故。
     ③增加抽气通道中气流速度。为防止处于悬浮状态的固体颗粒物沉积,使气体的流动速度大于颗粒沉积的临界速度(即最大阵落速度),在泵内及早充人适量的气体,使气流速率大于颗粒沉积临界速度,保证颗粒物实现气动输送。但是充入气量不能过大,过大的气量将影响泵的极限压力,在不同的抽气系统中,通过实验确定最佳充入气量。

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